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阿榮 de 學(xué)術(shù)新蟲 (初入文壇)
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[求助]
溶膠制備 IGZO 薄膜求助 已有1人參與
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目前使用溶膠凝膠法制備 IGZO 薄膜，將硝酸鹽溶解在乙二醇單甲醚當(dāng)中，使用硅片當(dāng)基底，用丙酮酒精去離子水超聲清洗后，因?yàn)閷?shí)驗(yàn)室沒有氧等離子清洗機(jī)和紫外臭氧清洗機(jī)，基底表面親水性不夠，溶液不能旋涂在基底上面，后面加入了穩(wěn)定劑，現(xiàn)在溶液能旋涂成薄膜了， 350℃ -2h退火出來薄膜很好看，但是萬用表測量電阻有很大，請問用什么簡單的方法能讓基底表面親水性提高？有什么方法能讓薄膜的正常電阻降低呢？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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阿榮 de 學(xué)術(shù)
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5樓2025-12-05 18:30:36
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