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阿榮 de 學(xué)術(shù)新蟲 (初入文壇)
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[求助]
溶膠制備 IGZO 薄膜求助 已有1人參與
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目前使用溶膠凝膠法制備 IGZO 薄膜,將硝酸鹽溶解在乙二醇單甲醚當中,使用硅片當基底,用丙酮酒精去離子水超聲清洗后,因為實驗室沒有氧等離子清洗機和紫外臭氧清洗機,基底表面親水性不夠,溶液不能旋涂在基底上面,后面加入了穩(wěn)定劑,現(xiàn)在溶液能旋涂成薄膜了, 350℃ -2h退火出來薄膜很好看,但是萬用表測量電阻有很大,請問用什么簡單的方法能讓基底表面親水性提高?有什么方法能讓薄膜的正常電阻降低呢? 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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