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hubuhurui新蟲 (初入文壇)
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[求助]
光刻顯影微納加工
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| 本人在氧化鎵薄膜表面光刻叉指電極,光刻顯影后得到如下圖案,不知怎么判斷顯影效果是否較好,后續(xù)經(jīng)過(guò)真空蒸鍍的方法鍍上Ti/Au電極,結(jié)果在用丙酮洗脫電極的時(shí)候電極大面積脫落,不知道是哪里出了問(wèn)題,請(qǐng)各位大佬指點(diǎn)指點(diǎn)。(使用的光刻膠是AZ5214E,當(dāng)作正叫使用,有前烘和后烘處理,且在后烘之后用plasma打了幾分鐘處理表面的膠后再進(jìn)行蒸鍍) |
新蟲 (初入文壇)
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[基金申請(qǐng)] 成果系統(tǒng)訪問(wèn)量大,請(qǐng)一小時(shí)后再嘗試。---NSFC啥時(shí)候好哦,已經(jīng)兩天這樣了 +4 | NSFC2026我來(lái)了 2026-02-28 | 4/200 |
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