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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 光刻顯影微納加工
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hubuhurui新蟲 (初入文壇)
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[求助]
光刻顯影微納加工
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| 本人在氧化鎵薄膜表面光刻叉指電極，光刻顯影后得到如下圖案，不知怎么判斷顯影效果是否較好，后續(xù)經(jīng)過真空蒸鍍的方法鍍上Ti/Au電極，結果在用丙酮洗脫電極的時候電極大面積脫落，不知道是哪里出了問題，請各位大佬指點指點。（使用的光刻膠是AZ5214E，當作正叫使用，有前烘和后烘處理，且在后烘之后用plasma打了幾分鐘處理表面的膠后再進行蒸鍍） |
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2樓2024-11-18 20:29:21
hubuhurui
新蟲 (初入文壇)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 110.5
- 帖子: 19
- 在線: 102.7小時
- 蟲號: 34186813
- 注冊: 2023-10-09
- 專業(yè): 半導體光電子器件
3樓2024-11-18 20:33:20
4樓2024-11-20 08:39:44
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