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李小坤木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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磁控濺射相關(guān)問(wèn)題 已有2人參與
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大佬們好，磁控濺射轟擊金屬靶材，例如Al、Sn等，能夠轟擊出相應(yīng)的原子。但如果轟擊的靶材是無(wú)機(jī)化合物，例如ZnGa2O4，轟擊出來(lái)的是Zn,Ga,O原子還是ZnGa2O4分子呢？ 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶(hù)端 |
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3樓2025-02-24 16:59:46
king小草
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【答案】應(yīng)助回帖
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首先了解磁控濺射的解釋更多的是通過(guò)高能粒子撞擊動(dòng)能轉(zhuǎn)換的方式將靶材中的材料轟擊出來(lái)。過(guò)程中濺射出的成分可能是單個(gè)分子，原子，原子團(tuán)等。在濺射過(guò)程，如果能量足夠，靶材里有易揮發(fā)，易分解的成分，則可能發(fā)生相應(yīng)的反應(yīng)。不清楚你說(shuō)的ZnGa2O4的性質(zhì)。首先定制的靶材中應(yīng)該是以ZnGa2O4形式存在，如果轟擊能量足夠，化學(xué)鍵斷裂可能會(huì)出現(xiàn)反應(yīng)后的產(chǎn)物。 另外看到有介紹在合金靶材中，濺射出的組分比例就并非定制靶材的比例。濺射系數(shù)高的優(yōu)先被濺射出去，組分變化，同時(shí)熱力學(xué)作用下表層擴(kuò)散遷移，使表層達(dá)到穩(wěn)定比例。得到的膜跟靶材的比例會(huì)有差異。 這樣想制備特定成分的膜層，就會(huì)考慮在反應(yīng)過(guò)程中添加反應(yīng)氣體等方式控制組分。 |
2樓2024-11-13 17:16:22
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