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Icymi新蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助單層cvd石墨烯器件金屬接觸電阻問題
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我們于外面acs購買了cvd單層石墨烯材料制作石墨烯fet,使用電子束蒸發(fā)鍍Ni/Au(10nm/30nm)剝離作為接觸電極,但是測量器件的Ids-Vds曲線在小電壓下幾乎不導(dǎo)通,加大電壓,在大電流下(1ua以上)循環(huán)測試幾次后,才能變?yōu)榫性的iv(低電阻狀態(tài))。但是如果不施加電壓,過一段時間后,又會變?yōu)楦咦锠顟B(tài)。已在Ar 250°、350°中退火兩次,沒有改變。之前用過Ti/Au,Cr/Au,掃iv也有些彎曲,有些像肖特基接觸 求助有沒有遇到過類似問題的解決辦法,我們希望實(shí)現(xiàn)歐姆接觸,在小電壓下也是一個線性的iv。 Stochastic nonlinear electrical characteristics of graphene 目前非常類似于這篇文章中提到的情況 |
新蟲 (初入文壇)
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我們在通大電流使器件變?yōu)榈妥韬笥脗鬏斁結(jié)構(gòu)測量了接觸電阻,應(yīng)該在幾k歐姆·um左右。 您是指兩個探針直接扎到一個pad上看看金屬的導(dǎo)電性嗎? 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
至尊木蟲 (著名寫手)
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新蟲 (初入文壇)
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