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| 【懸賞金幣】回答本帖問(wèn)題,作者Icymi將贈(zèng)送您 5 個(gè)金幣 | |||
Icymi新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
求助單層cvd石墨烯器件金屬接觸電阻問(wèn)題
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我們于外面acs購(gòu)買(mǎi)了cvd單層石墨烯材料制作石墨烯fet,使用電子束蒸發(fā)鍍Ni/Au(10nm/30nm)剝離作為接觸電極,但是測(cè)量器件的Ids-Vds曲線在小電壓下幾乎不導(dǎo)通,加大電壓,在大電流下(1ua以上)循環(huán)測(cè)試幾次后,才能變?yōu)榫性的iv(低電阻狀態(tài))。但是如果不施加電壓,過(guò)一段時(shí)間后,又會(huì)變?yōu)楦咦锠顟B(tài)。已在Ar 250°、350°中退火兩次,沒(méi)有改變。之前用過(guò)Ti/Au,Cr/Au,掃iv也有些彎曲,有些像肖特基接觸 求助有沒(méi)有遇到過(guò)類(lèi)似問(wèn)題的解決辦法,我們希望實(shí)現(xiàn)歐姆接觸,在小電壓下也是一個(gè)線性的iv。 Stochastic nonlinear electrical characteristics of graphene 目前非常類(lèi)似于這篇文章中提到的情況 |
至尊木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
新蟲(chóng) (初入文壇)
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我們?cè)谕ù箅娏魇蛊骷優(yōu)榈妥韬笥脗鬏斁結(jié)構(gòu)測(cè)量了接觸電阻,應(yīng)該在幾k歐姆·um左右。 您是指兩個(gè)探針直接扎到一個(gè)pad上看看金屬的導(dǎo)電性嗎? 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
至尊木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
新蟲(chóng) (初入文壇)
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