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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 光刻工藝
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hubuhurui新蟲 (初入文壇)
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[求助]
光刻工藝 已有4人參與
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求助各位大佬，我目前所做的是在藍寶石上長了一層氧化鎵薄膜，然后再通過光刻刻上叉指電極的圖案，精度最小是5um，再蒸鍍Au作電極。目前的問題是顯影總是一半圖案清晰一半模糊，其次是鍍上Au之后用丙酮洗脫導致圖案部分的電極也脫落。希望各位大佬指點指點，卡好久了 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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hubuhurui
新蟲 (初入文壇)
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