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hubuhurui新蟲(chóng) (初入文壇)
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光刻工藝 已有4人參與
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求助各位大佬，我目前所做的是在藍(lán)寶石上長(zhǎng)了一層氧化鎵薄膜，然后再通過(guò)光刻刻上叉指電極的圖案，精度最小是5um，再蒸鍍Au作電極。目前的問(wèn)題是顯影總是一半圖案清晰一半模糊，其次是鍍上Au之后用丙酮洗脫導(dǎo)致圖案部分的電極也脫落。希望各位大佬指點(diǎn)指點(diǎn)，卡好久了 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
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2樓2024-09-18 13:52:59
hubuhurui
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8樓2025-02-20 21:36:18
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