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SunKli

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專業(yè): 光學(xué)

[求助] Cr蝕刻液

咨詢一下大家，電子束蒸發(fā)鍍的40nmCr薄膜作為掩膜，經(jīng)過(guò)ICP刻蝕后剩余的Cr如何更好的用腐蝕液蝕刻掉，嘗試過(guò)硝酸鈰銨和冰醋酸配合使用，但是蝕刻不掉，是配比要嚴(yán)格控制嗎？有沒(méi)有推薦其他的蝕刻液？還請(qǐng)做微加工工藝的同學(xué)老師給個(gè)意見(jiàn)，感謝！

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1樓 2024-06-30 12:07:33

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