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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » Cr蝕刻液
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SunKli新蟲 (小有名氣)
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[求助]
Cr蝕刻液
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咨詢一下大家，電子束蒸發(fā)鍍的40nmCr薄膜作為掩膜，經(jīng)過ICP刻蝕后剩余的Cr如何更好的用腐蝕液蝕刻掉，嘗試過硝酸鈰銨和冰醋酸配合使用，但是蝕刻不掉，是配比要嚴(yán)格控制嗎？有沒有推薦其他的蝕刻液？還請做微加工工藝的同學(xué)老師給個(gè)意見，感謝！ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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