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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 磁控濺射
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Luxiuyuan新蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射
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請問我在硅片上磁控濺射氧化物薄膜的時候，鍍完膜之后，硅片上有彩色的圓圈是怎么回事，濺射氣體用的氬氣 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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這集結(jié)束
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 18
- 帖子: 3
- 在線: 14分鐘
- 蟲號: 30216180
- 注冊: 2022-07-17
- 專業(yè): 金屬材料的微觀結(jié)構(gòu)
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你說得應(yīng)該是背面吧，很正常的，濺射的并不是全部粒子沉積在硅片上，腔室壁上都有的，同理，只要背面不是完全貼在襯底架上就有粒子附著在上面形成彩色圓圈，彩色圓圈應(yīng)該有梯度變化，這是附著在上面粒子含量不同導(dǎo)致。你可以用SEM驗證一下表面彩色圓圈是不是你靶材元素 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
6樓2022-11-15 23:24:38
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2樓2022-11-10 14:02:29
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3樓2022-11-10 14:04:08
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4樓2022-11-10 14:05:13
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