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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 磁控濺射
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Luxiuyuan新蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射
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請問我在硅片上磁控濺射氧化物薄膜的時候，鍍完膜之后，硅片上有彩色的圓圈是怎么回事，濺射氣體用的氬氣 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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2樓2022-11-10 14:02:29
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3樓2022-11-10 14:04:08
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4樓2022-11-10 14:05:13
Luxiuyuan
新蟲 (初入文壇)
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- 專業(yè): 無機非金屬材料
5樓2022-11-12 08:09:14
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你說得應該是背面吧，很正常的，濺射的并不是全部粒子沉積在硅片上，腔室壁上都有的，同理，只要背面不是完全貼在襯底架上就有粒子附著在上面形成彩色圓圈，彩色圓圈應該有梯度變化，這是附著在上面粒子含量不同導致。你可以用SEM驗證一下表面彩色圓圈是不是你靶材元素 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
6樓2022-11-15 23:24:38
xyr0125
新蟲 (小有名氣)
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7樓2022-11-17 09:14:01
8樓2023-01-29 20:39:19
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