 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 4 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 800 | 回復: 3 | ||
| 【懸賞金幣】回答本帖問題，作者ws4231153將贈送您 5 個金幣 | ||
ws4231153新蟲 (小有名氣)
|
[求助]
為什么PECVD氮化硅薄膜在Au、Cu襯底上長不起來 已有1人參與
|
|
|
請教PECVD氮化硅薄膜在Au、Cu擴散性強的金屬襯底為什么生長不起來，而同樣的工藝在Pt、W襯底上就可以生長。我判斷生長成功的依據(jù)是用萬用表測薄膜的導電性，結果發(fā)現(xiàn)在Au、Cu兩種襯底上都是導電的，說明氮化硅薄膜沒有起到絕緣的作用或者根本沒有生長成功。但是在W、Pt襯底上生長的氮化硅薄膜就能起到絕緣的作用，并且使得整體薄膜的顏色發(fā)生改變。 期間我試過調(diào)整功率，加長沉積時間，都沒有成功？我的沉積氣體是SiH4+N2,之前也有用過SiH4+NH3在Au、Cu襯底上沉積氮化硅薄膜，都沒有成功，請問這是為什么呢？有沒有做這方向的大神指導一下，這個問題困擾了我很久，或者是我需要改變一下沉積條件嗎？ |
回復此樓» 猜你喜歡
一志愿鄭州大學，學碩，物理化學， 333求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復
-
0703化學 一志愿東北大學 279分求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復
-
化學 0703求調(diào)劑 總分293 一志愿211
已經(jīng)有7人回復
-
26超級電容器申博
已經(jīng)有4人回復
-
中國科學技術大學材料與化工281求調(diào)劑，有科研和獲獎經(jīng)歷
已經(jīng)有10人回復
-
26申博
已經(jīng)有5人回復
-
26申博-目前4篇SCI一作
已經(jīng)有3人回復
-
085701環(huán)境工程 求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復
-
295求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復
-
0703化學調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復
2樓2022-09-25 10:34:37
ws4231153
新蟲 (小有名氣)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 99
- 散金: 35
- 帖子: 148
- 在線: 41.9小時
- 蟲號: 6663019
- 注冊: 2017-06-01
- 專業(yè): 力學中的基本問題和方法
3樓2022-09-27 09:54:40
Jason
木蟲 (著名寫手)
- 應助: 123 (高中生)
- 金幣: 4536.3
- 散金: 2503
- 紅花: 26
- 帖子: 1977
- 在線: 764.7小時
- 蟲號: 1196746
- 注冊: 2011-01-27
- 性別: GG
- 專業(yè): 結構陶瓷
4樓2022-09-28 15:08:31
相關版塊跳轉
我要訂閱樓主 ws4231153 的主題更新
| 4 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 化學 0703求調(diào)劑 總分293 一志愿211 +7 | 土土小蟲 2026-03-03 | 7/350 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 中國科學技術大學材料與化工281求調(diào)劑，有科研和獲獎經(jīng)歷 +9 | wsxw 2026-03-02 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 0856材料工程，初試313調(diào)劑 +7 | 賣個關子吧 2026-03-03 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 290求調(diào)劑 +9 | ErMiao1020 2026-03-02 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 289求調(diào)劑 +7 | BrightLL 2026-03-02 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 環(huán)境調(diào)劑 +5 | 柒槿levana 2026-03-01 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿東北大學化學314分求調(diào)劑 +5 | lr1212.. 2026-03-02 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 284求調(diào)劑 +6 | 天下熯 2026-03-02 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 299求調(diào)劑 +5 | kkcoco25 2026-03-02 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 課題組接收材料類調(diào)劑研究生 +6 | gaoxiaoniuma 2026-02-28 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 271求調(diào)劑 +4 | Ricardo1113 2026-03-02 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 材料化工調(diào)劑 +13 | 今夏不夏 2026-03-01 | 16/800 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +7 | repeatt?t 2026-02-28 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 材料復試調(diào)劑 +5 | 學材料的點 2026-03-01 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 化工專碩342，一志愿大連理工大學，求調(diào)劑 +6 | kyf化工 2026-02-28 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 材料調(diào)劑 +6 | 愛擦汗的可樂冰 2026-02-28 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 274求調(diào)劑 +3 | cgyzqwn 2026-03-01 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 材料學調(diào)劑 +10 | 提神豆沙包 2026-02-28 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 0856材料求調(diào)劑 +4 | 麻辣魷魚 2026-02-28 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +3 | 52hz~~ 2026-02-28 | 5/250 |
|