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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 化學化工區(qū) » 工藝技術 » 膜技術 » 光刻膠前烘不均勻的問題
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| 【懸賞金幣】回答本帖問題，作者Calvin.將贈送您 20 個金幣 | ||
Calvin.金蟲 (小有名氣)
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[求助]
光刻膠前烘不均勻的問題 已有2人參與
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用某光刻膠進行勻膠后，肉眼可見，基本已勻膠均勻，整塊硅片上均涂布了光刻膠。然而在前烘的過程中，將硅片放上烘膠的熱板上，霎時便出現(xiàn)了類似光刻膠被部分蒸干的現(xiàn)象，硅片上很多位置裸露出硅片。 請問這是什么原因，應該如何解決呢？是勻膠轉速的問題，還是烘膠溫度的問題，或者說是膠本身性質的原因，應該如何對癥處理？ 清大神們幫忙，謝謝。 |
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2樓2022-06-28 16:54:57
3樓2022-07-16 10:01:09
zhaowenhuang
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4樓2023-12-05 11:59:15
Nihilismr
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5樓2023-12-27 11:02:54
19817854982
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6樓2024-01-12 08:43:54
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