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Calvin.金蟲 (小有名氣)
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光刻膠前烘不均勻的問題 已有2人參與
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用某光刻膠進(jìn)行勻膠后，肉眼可見，基本已勻膠均勻，整塊硅片上均涂布了光刻膠。然而在前烘的過程中，將硅片放上烘膠的熱板上，霎時(shí)便出現(xiàn)了類似光刻膠被部分蒸干的現(xiàn)象，硅片上很多位置裸露出硅片。 請(qǐng)問這是什么原因，應(yīng)該如何解決呢？是勻膠轉(zhuǎn)速的問題，還是烘膠溫度的問題，或者說是膠本身性質(zhì)的原因，應(yīng)該如何對(duì)癥處理？ 清大神們幫忙，謝謝。 |
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6樓2024-01-12 08:43:54
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