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Bluebery1新蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
ICP刻蝕Cr做掩膜的Ge，本該出現(xiàn)柱形結(jié)構(gòu)結(jié)果卻出現(xiàn)了凹坑
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| 沉底Ge上鍍又25nm左右的Cr掩膜，ICP刻蝕的結(jié)果預(yù)期是生成柱子，結(jié)果卻生成了一個(gè)個(gè)200nm左右的凹坑。我知道刻蝕的大概原理，但是想不明白本該是柱子的東西怎么會(huì)變成凹坑，有沒(méi)有可能是刻蝕條件的問(wèn)題導(dǎo)致的呢？ |
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Bluebery12樓2022-05-14 12:58:29
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