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| 【懸賞金幣】回答本帖問題,作者晚秋秋秋將贈送您 5 個金幣 | ||
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請問磁控濺射的時候真空度發(fā)生跳變是什么原因呢?
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| 用的是ULVAC的鍍膜機,預備室的泵在抽到1pa以下時,示數就直接跳變回1✖10的五次方標準大氣壓了,但是抽真空還在繼續(xù),請問是真空規(guī)管壞了么 |
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