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[求助]
請問磁控濺射的時候真空度發(fā)生跳變是什么原因呢？
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| 用的是ULVAC的鍍膜機，預備室的泵在抽到1pa以下時，示數(shù)就直接跳變回1✖10的五次方標準大氣壓了，但是抽真空還在繼續(xù)，請問是真空規(guī)管壞了么 |
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2樓2021-12-24 16:32:53
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