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澤西子?jì)I新蟲 (小有名氣)
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[求助]
激光直寫光刻邊緣鋸齒 已有3人參與
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目前在做激光直寫光刻，遇到一些問(wèn)題，還望各位大佬指點(diǎn)一下。 詳細(xì)情況： 在不同基底上做激光直寫光刻，目前在k9等基底上做出來(lái)線條好，但Ge基底上存在邊緣鋸齒狀問(wèn)題，考慮到光刻膠折射率和Ge基底折射率不匹配導(dǎo)致的駐波效應(yīng)，也經(jīng)行了一定的改善，但目前邊緣鋸齒問(wèn)題。 涂膠方式:噴涂 光刻膠:Az9260 顯影液:238 @yswyx 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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煩躁的人生
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7樓2022-01-04 14:05:56
lithofab
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2樓2021-11-24 08:42:44
3樓2021-11-25 10:48:12
澤西子?jì)I
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4樓2021-11-25 14:48:21
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