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澤西子?jì)I新蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
激光直寫(xiě)光刻邊緣鋸齒 已有3人參與
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目前在做激光直寫(xiě)光刻，遇到一些問(wèn)題，還望各位大佬指點(diǎn)一下。 詳細(xì)情況： 在不同基底上做激光直寫(xiě)光刻，目前在k9等基底上做出來(lái)線條好，但Ge基底上存在邊緣鋸齒狀問(wèn)題，考慮到光刻膠折射率和Ge基底折射率不匹配導(dǎo)致的駐波效應(yīng)，也經(jīng)行了一定的改善，但目前邊緣鋸齒問(wèn)題。 涂膠方式:噴涂 光刻膠:Az9260 顯影液:238 @yswyx 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
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3樓2021-11-25 10:48:12
lithofab
新蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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2樓2021-11-24 08:42:44
澤西子?jì)I
新蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 140.2
- 帖子: 76
- 在線: 5.9小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 14344801
- 注冊(cè): 2019-02-24
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
4樓2021-11-25 14:48:21
stellaintl
新蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 249.3
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- 帖子: 85
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- 蟲(chóng)號(hào): 13939377
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5樓2021-12-07 14:45:50
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