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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 激光直寫光刻邊緣鋸齒
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澤西子婭新蟲 (小有名氣)
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[求助]
激光直寫光刻邊緣鋸齒 已有3人參與
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目前在做激光直寫光刻，遇到一些問題，還望各位大佬指點一下。 詳細情況： 在不同基底上做激光直寫光刻，目前在k9等基底上做出來線條好，但Ge基底上存在邊緣鋸齒狀問題，考慮到光刻膠折射率和Ge基底折射率不匹配導致的駐波效應，也經(jīng)行了一定的改善，但目前邊緣鋸齒問題。 涂膠方式:噴涂 光刻膠:Az9260 顯影液:238 @yswyx 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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4樓2021-11-25 14:48:21
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