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磁控濺射沉積氧化銅薄膜發(fā)生皸裂
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請(qǐng)問各位大佬，最近磁控濺射金屬銅靶，沉積氧化銅薄膜在氧化硅上，馬弗爐退火后會(huì)發(fā)生皸裂，脫落現(xiàn)象，很隨機(jī)，同樣的參數(shù)做兩批片子有不同的結(jié)果，降低退火溫度并無明顯改善，之前做了兩個(gè)月沒有發(fā)現(xiàn)這種現(xiàn)象，請(qǐng)問有大佬知道怎么回事嗎？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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3樓2021-10-19 10:39:41
 本帖僅樓主可見 |
2樓2021-10-19 00:03:44
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