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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 磁控濺射沉積氧化銅薄膜發(fā)生皸裂
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| 【懸賞金幣】回答本帖問題，作者wxy123p將贈送您 15 個金幣 | ||
[求助]
磁控濺射沉積氧化銅薄膜發(fā)生皸裂
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請問各位大佬，最近磁控濺射金屬銅靶，沉積氧化銅薄膜在氧化硅上，馬弗爐退火后會發(fā)生皸裂，脫落現(xiàn)象，很隨機，同樣的參數(shù)做兩批片子有不同的結果，降低退火溫度并無明顯改善，之前做了兩個月沒有發(fā)現(xiàn)這種現(xiàn)象，請問有大佬知道怎么回事嗎？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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 本帖僅樓主可見 |
2樓2021-10-19 00:03:44
3樓2021-10-19 10:39:41
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