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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料其他 » 等離子體清洗求助
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| 【懸賞金幣】回答本帖問題，作者veil777將贈送您 20 個金幣 | |||
veil777新蟲 (初入文壇)
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[求助]
等離子體清洗求助
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如題，本人使用等離子體清洗機清洗工件(材料為無氧銅)時，工件表面由紫紅色變?yōu)椴糠謳{色，和灰色，這些起灰的部分可以用棉球沾酒精擦掉，查閱資料二價的水合銅離子呈藍色，可能是被氧化。實驗使用的條件是Ar清洗5min，流量150SCCM，電極功率400W，氣壓150m乇(約20Pa)，清洗完畢抽真空充空氣恢復至大氣壓。想請各位蟲友幫忙分析下可能是什么環(huán)節(jié)引入了氧化？是大氣抽至150m乇下殘留的氧氣參與了放電氧化亦或是功率和時間偏大導致充空氣恢復大氣壓步驟引入的銅被氧化？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2021-11-15 19:51:08
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