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veil777新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
等離子體清洗求助
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如題，本人使用等離子體清洗機(jī)清洗工件(材料為無(wú)氧銅)時(shí)，工件表面由紫紅色變?yōu)椴糠謳{(lán)色，和灰色，這些起灰的部分可以用棉球沾酒精擦掉，查閱資料二價(jià)的水合銅離子呈藍(lán)色，可能是被氧化。實(shí)驗(yàn)使用的條件是Ar清洗5min，流量150SCCM，電極功率400W，氣壓150m乇(約20Pa)，清洗完畢抽真空充空氣恢復(fù)至大氣壓。想請(qǐng)各位蟲(chóng)友幫忙分析下可能是什么環(huán)節(jié)引入了氧化？是大氣抽至150m乇下殘留的氧氣參與了放電氧化亦或是功率和時(shí)間偏大導(dǎo)致充空氣恢復(fù)大氣壓步驟引入的銅被氧化？ 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
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2樓2021-11-15 19:51:08
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