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關于磁控濺射制備TaN薄膜、Ti/Pt/Au等
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| 查閱資料關于TaN薄膜是采用高溫反應濺射，而Ti/Pt/Au一般是常溫濺射，共用一個腔體做對純金屬的濺射穩(wěn)定性影響有多大？ |
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3樓2021-09-02 22:12:09
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