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寄居灰新蟲 (初入文壇)
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[求助]
關(guān)于磁控濺射制備TaN薄膜、Ti/Pt/Au等
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| 查閱資料關(guān)于TaN薄膜是采用高溫反應(yīng)濺射,而Ti/Pt/Au一般是常溫濺射,共用一個(gè)腔體做對純金屬的濺射穩(wěn)定性影響有多大? |
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