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[交流]
光刻膠
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Su8光刻膠用環(huán)戊酮稀釋后，旋涂成膜，曝光顯影后，膜出現(xiàn)褶皺，請問大家該如何解決，并且在膜上還有下圖的情況不知道為什么，希望大佬賜教 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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3樓2021-08-08 10:12:55
2樓2021-08-06 22:34:06
濟(jì)南創(chuàng)科
新蟲 (初入文壇)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
4樓2021-08-12 00:00:52
SunKli
新蟲 (小有名氣)
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- 專業(yè): 光學(xué)
★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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請問有沒有用Ebl刻過150nm厚度左右的SU8,想咨詢一下工藝問題，曝光參數(shù)以及加熱問題。摸索了一段時候還是很差 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
5樓2022-08-06 20:19:05
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