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[交流]
光刻膠
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Su8光刻膠用環(huán)戊酮稀釋后,旋涂成膜,曝光顯影后,膜出現(xiàn)褶皺,請問大家該如何解決,并且在膜上還有下圖的情況不知道為什么,希望大佬賜教 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
新蟲 (初入文壇)
新蟲 (小有名氣)
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請問有沒有用Ebl刻過150nm厚度左右的SU8,想咨詢一下工藝問題,曝光參數(shù)以及加熱問題。摸索了一段時候還是很差 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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