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sokooo111新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射輝光問(wèn)題 已有2人參與
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各位好，之前實(shí)驗(yàn)室磁控濺射儀器的plc的cpu壞了，花了一個(gè)月左右才修好�，F(xiàn)在同樣以維修前的工藝參數(shù)做實(shí)驗(yàn)(氣源、靶材都沒(méi)變)，發(fā)現(xiàn)輝光顏色發(fā)綠(重新?lián)Q了一塊靶材也如此)，我檢查了儀器真空度問(wèn)題以及氣源漏氣情況，只發(fā)現(xiàn)和氬氣瓶連接的減壓閥有輕微漏氣情況，其余無(wú)問(wèn)題。 具體工藝情況：普通靶位，錳靶材，氣氛Ar氣，功率是110w預(yù)濺射20分鐘、正式濺射7分鐘。 每次做實(shí)驗(yàn)前會(huì)對(duì)靶材進(jìn)行打磨，做實(shí)驗(yàn)時(shí)會(huì)出現(xiàn)這個(gè)現(xiàn)象：一開(kāi)始輝光發(fā)綠，隨著時(shí)間變化，濺射電壓降低(電流升高），輝光顏色逐漸正常。但三分鐘后濺射電壓又逐漸升高(電流降低），輝光顏色發(fā)綠。以同樣的工藝做出來(lái)的東西明顯比維修前做出來(lái)的成品薄，現(xiàn)在不知道怎么辦了，求助于各位蟲(chóng)友，能不能支支招。小弟先謝謝大家。 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
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- 專業(yè): 理論和計(jì)算化學(xué)
3樓2021-08-25 17:41:08
2樓2021-08-09 20:25:57
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