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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控濺射輝光問題
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| 【懸賞金幣】回答本帖問題，作者sokooo111將贈送您 15 個金幣 | ||
[求助]
磁控濺射輝光問題 已有2人參與
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各位好，之前實驗室磁控濺射儀器的plc的cpu壞了，花了一個月左右才修好�，F(xiàn)在同樣以維修前的工藝參數(shù)做實驗(氣源、靶材都沒變)，發(fā)現(xiàn)輝光顏色發(fā)綠(重新?lián)Q了一塊靶材也如此)，我檢查了儀器真空度問題以及氣源漏氣情況，只發(fā)現(xiàn)和氬氣瓶連接的減壓閥有輕微漏氣情況，其余無問題。 具體工藝情況：普通靶位，錳靶材，氣氛Ar氣，功率是110w預(yù)濺射20分鐘、正式濺射7分鐘。 每次做實驗前會對靶材進行打磨，做實驗時會出現(xiàn)這個現(xiàn)象：一開始輝光發(fā)綠，隨著時間變化，濺射電壓降低(電流升高），輝光顏色逐漸正常。但三分鐘后濺射電壓又逐漸升高(電流降低），輝光顏色發(fā)綠。以同樣的工藝做出來的東西明顯比維修前做出來的成品薄，現(xiàn)在不知道怎么辦了，求助于各位蟲友，能不能支支招。小弟先謝謝大家。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2021-08-09 20:25:57
www1
銀蟲 (著名寫手)
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- 專業(yè): 理論和計算化學(xué)
3樓2021-08-25 17:41:08
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