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nononorain新蟲 (初入文壇)
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[求助]
AZ5214參數(shù)設(shè)計(jì) 已有1人參與
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用偽博世工藝進(jìn)行硅刻蝕，打算直接用光刻膠做掩模版，光刻膠擬采用AZ5214，厚度擬定5微米，想要在光刻顯影后得到側(cè)壁垂直的光刻層，請問工藝參數(shù)怎么設(shè)定？ 1.旋膠速度和時(shí)間。查了相關(guān)資料，AZ5214 2000轉(zhuǎn)下厚度 2微米，那5微米怎么設(shè)定，要多次旋膠嗎； 2.曝光和顯影時(shí)間怎么確定 |
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rainbow0912
新蟲 (初入文壇)
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3樓2021-05-19 10:48:16
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