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使用202負(fù)膠后鍍Cr的lift-off工藝中Cr兩側(cè)長(zhǎng)墻大家有遇到過(guò)嗎？有解決方法嗎？ 已有1人參與
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| 在硅片基底上用正膠+lor（1um）做的光刻，線寬10um，然后鍍100nm的Cr剝離，用SEM觀測(cè)發(fā)現(xiàn)所鍍Cr兩邊的側(cè)壁長(zhǎng)出了一道墻，像是延光刻膠長(zhǎng)出來(lái)，不知道有沒(méi)有解決方法。 |
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2樓2020-12-25 11:34:59
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3樓2020-12-28 16:38:06
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5樓2021-01-12 15:26:24
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