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loskingyer新蟲 (小有名氣)
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[求助]
如何制作sio2/si基底窗口片?
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想要在10x10mm的sio2/si襯底上用hf酸刻蝕一個5x5mm窗口,漏出下面的Si。 目前我是用光刻的方法做一個窗口之后進行刻蝕,但是光刻膠保護能力不行,有覆蓋的部分也會被刻蝕掉。光刻膠是PR1-1000A1 請問有沒有什么好方法? 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
新蟲 (正式寫手)
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