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loskingyer新蟲 (小有名氣)
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[求助]
如何制作sio2/si基底窗口片？
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想要在10x10mm的sio2/si襯底上用hf酸刻蝕一個(gè)5x5mm窗口，漏出下面的Si。 目前我是用光刻的方法做一個(gè)窗口之后進(jìn)行刻蝕，但是光刻膠保護(hù)能力不行，有覆蓋的部分也會(huì)被刻蝕掉。光刻膠是PR1-1000A1 請(qǐng)問(wèn)有沒(méi)有什么好方法？ 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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d1121345006
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2樓2020-12-31 16:59:40
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