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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 關于PUA漏字板的制備
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| 【懸賞金幣】回答本帖問題，作者彩虹之約123將贈送您 10 個金幣 | ||
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關于PUA漏字板的制備
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| PUA漏字板中，先用厚SU8 負膠圖案化硅片，再光刻，再刻蝕硅片，制備帶有凹槽的硅，以帶有硅為模板制備帶有凸起的PDMS，然后制備PUA漏字板。厚SU8負膠甩多厚？硅刻蝕多深？圖案化硅片的尺寸多大？ |
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4樓2020-10-26 17:55:08
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