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[求助]
關(guān)于PUA漏字板的制備
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| PUA漏字板中，先用厚SU8 負(fù)膠圖案化硅片，再光刻，再刻蝕硅片，制備帶有凹槽的硅，以帶有硅為模板制備帶有凸起的PDMS，然后制備PUA漏字板。厚SU8負(fù)膠甩多厚？硅刻蝕多深？圖案化硅片的尺寸多大？ |
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babyoflion
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2樓2020-10-20 19:59:58
3樓2020-10-26 16:20:16
babyoflion
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4樓2020-10-26 17:55:08
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