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janasun新蟲 (初入文壇)
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[求助]
PVD金屬層SEM截面觀測
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公司生產(chǎn)的PVD產(chǎn)品，生產(chǎn)工藝為：ABS/PC塑材上噴底漆，然后蒸發(fā)鍍或濺射鍍一層薄金屬，金屬層厚度范圍20nm到300nm之間，表面再噴面漆。現(xiàn)在需要用SEM觀測中間PVD金屬層的厚度，嘗試過用公司現(xiàn)有的金相制樣手段鑲嵌打磨（碳化硅砂紙P240, P800, P1500,P2500研磨后用0.05μm氧化鋁拋光粉拋光，最后超聲波清洗切片），截面噴金后在SEM下基本上都觀察不到PVD層。主要體現(xiàn)在：1. 沒有底面漆的樣品，表面PVD層與環(huán)氧樹脂間有縫隙，PVD層太薄會破碎變形；2. 有面漆的產(chǎn)品，油漆與PVD層之間在SEM下觀察到有縫隙，PVD要么變形要么破碎，判斷不了PVD層真實形貌。 公司實驗室規(guī)模不大，用到的SEM是蔡司EVO-18鎢燈絲掃描電鏡，金相制樣也只有普通的砂輪切割機和自動磨拋機，噴金儀用的國產(chǎn)中科科儀的小型離子濺射儀。SEM設(shè)備是今年才購入的，之前并沒有接觸過相關(guān)測試。 想請教一下各位大神：1. 我們公司的這種產(chǎn)品，如果想實現(xiàn)用SEM觀測截面測厚度，制樣手段應(yīng)該怎么改善？感覺目前采用的金相鑲嵌制作切片的方式，研磨過程對PVD層破壞較大，有了解過一些制樣設(shè)備，知道可以通過離子切割研磨設(shè)備可以實現(xiàn)不破壞PVD形貌，但是這種設(shè)備費用比較高公司估計不會投入。有沒有可能在現(xiàn)有的設(shè)備上或者較少投入的情況下達到測試目的？ 2. 現(xiàn)在用的鎢燈絲掃描電鏡，感覺拍攝圖片質(zhì)量也不太高，10k倍以下的圖片基本都是比較清晰，放大20k倍以上圖片感覺都比較模糊。更換燈絲，調(diào)節(jié)燈絲像和光闌對中這些操作每次都找供應(yīng)商看過，也沒有什么問題。試過低加速電壓小束流的條件下拍圖，改善也不明顯。想問問有沒有用過這款設(shè)備的大神，怎樣能提高高倍下拍圖的質(zhì)量？還有這個國產(chǎn)的噴金儀，感覺噴金的質(zhì)量也不太穩(wěn)定，有時候金膜肉眼可見的不均勻，這個對SEM觀察效果影響有多大？看過場發(fā)射拍的圖，圖像質(zhì)量比鎢燈絲電鏡拍的好的不是一點半點，F(xiàn)IB公司更加不會考慮購買了。 誠心請教各位大神，對于薄層金屬SEM截面觀測有沒有什么好的方法？非常感謝！ |
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