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janasun新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
PVD金屬層SEM截面觀測(cè)
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公司生產(chǎn)的PVD產(chǎn)品，生產(chǎn)工藝為：ABS/PC塑材上噴底漆，然后蒸發(fā)鍍或?yàn)R射鍍一層薄金屬，金屬層厚度范圍20nm到300nm之間，表面再噴面漆�，F(xiàn)在需要用SEM觀測(cè)中間PVD金屬層的厚度，嘗試過(guò)用公司現(xiàn)有的金相制樣手段鑲嵌打磨（碳化硅砂紙P240, P800, P1500,P2500研磨后用0.05μm氧化鋁拋光粉拋光，最后超聲波清洗切片），截面噴金后在SEM下基本上都觀察不到PVD層。主要體現(xiàn)在：1. 沒(méi)有底面漆的樣品，表面PVD層與環(huán)氧樹(shù)脂間有縫隙，PVD層太薄會(huì)破碎變形；2. 有面漆的產(chǎn)品，油漆與PVD層之間在SEM下觀察到有縫隙，PVD要么變形要么破碎，判斷不了PVD層真實(shí)形貌。 公司實(shí)驗(yàn)室規(guī)模不大，用到的SEM是蔡司EVO-18鎢燈絲掃描電鏡，金相制樣也只有普通的砂輪切割機(jī)和自動(dòng)磨拋機(jī)，噴金儀用的國(guó)產(chǎn)中科科儀的小型離子濺射儀。SEM設(shè)備是今年才購(gòu)入的，之前并沒(méi)有接觸過(guò)相關(guān)測(cè)試。 想請(qǐng)教一下各位大神：1. 我們公司的這種產(chǎn)品，如果想實(shí)現(xiàn)用SEM觀測(cè)截面測(cè)厚度，制樣手段應(yīng)該怎么改善？感覺(jué)目前采用的金相鑲嵌制作切片的方式，研磨過(guò)程對(duì)PVD層破壞較大，有了解過(guò)一些制樣設(shè)備，知道可以通過(guò)離子切割研磨設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)不破壞PVD形貌，但是這種設(shè)備費(fèi)用比較高公司估計(jì)不會(huì)投入。有沒(méi)有可能在現(xiàn)有的設(shè)備上或者較少投入的情況下達(dá)到測(cè)試目的？ 2. 現(xiàn)在用的鎢燈絲掃描電鏡，感覺(jué)拍攝圖片質(zhì)量也不太高，10k倍以下的圖片基本都是比較清晰，放大20k倍以上圖片感覺(jué)都比較模糊。更換燈絲，調(diào)節(jié)燈絲像和光闌對(duì)中這些操作每次都找供應(yīng)商看過(guò)，也沒(méi)有什么問(wèn)題。試過(guò)低加速電壓小束流的條件下拍圖，改善也不明顯。想問(wèn)問(wèn)有沒(méi)有用過(guò)這款設(shè)備的大神，怎樣能提高高倍下拍圖的質(zhì)量？還有這個(gè)國(guó)產(chǎn)的噴金儀，感覺(jué)噴金的質(zhì)量也不太穩(wěn)定，有時(shí)候金膜肉眼可見(jiàn)的不均勻，這個(gè)對(duì)SEM觀察效果影響有多大？看過(guò)場(chǎng)發(fā)射拍的圖，圖像質(zhì)量比鎢燈絲電鏡拍的好的不是一點(diǎn)半點(diǎn)，F(xiàn)IB公司更加不會(huì)考慮購(gòu)買(mǎi)了。 誠(chéng)心請(qǐng)教各位大神，對(duì)于薄層金屬SEM截面觀測(cè)有沒(méi)有什么好的方法？非常感謝！ |
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