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[交流]
氧化鋁介電層被后續(xù)工藝中的顯影液腐蝕 已有3人參與
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鍍了一層50nm的氧化鋁薄膜作為場(chǎng)效應(yīng)管的柵極介質(zhì)，后續(xù)工藝中通過光刻制備電極。選用EPG535正膠，顯影液為0.5%NaOH或2.38%TMAH，都發(fā)現(xiàn)這層氧化鋁被腐蝕了（紫外光刻顯影液基本都是強(qiáng)堿性的），有蟲子遇到過這種情況嗎？如何避免呢，謝謝！ 圖片1.png |
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