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[求助]
如何制備厚度大均勻性好的光刻膠膠厚 已有1人參與
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想獲得80μm以上的光刻膠厚度，需要注意哪些問題，目前做的總是出現(xiàn)掉膠，顯影不凈等問題 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2020-09-23 19:28:36
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babyoflion
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【答案】應(yīng)助回帖
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估計你用的是SU8。如果是SU8的話，首先膠的選擇很重要。建議使用研材微納的683，其它的SU8，包括進(jìn)口microchem的，各個系列都有一些限制。 首先你這種接近10:1高寬比的，microchem的2000系列，但是它的粘附性很差。3000系列又最大只能做到5:1。 還有很多其它的工藝細(xì)節(jié)，比如，光源必須是單色的，顯影要用特殊的工具，襯底要做如何的特殊處理等等等等，才又可能做到10:1的高寬比。 建議直接發(fā)信給研材微納的技術(shù)郵箱或者銷售郵箱進(jìn)行咨詢，或者直接參加他們的SU8光刻培訓(xùn)。 |
7樓2020-09-30 16:34:12
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