 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 7 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1203 | 回復(fù): 6 | ||||
| 【懸賞金幣】回答本帖問(wèn)題，作者su1227將贈(zèng)送您 10 個(gè)金幣 | ||||
[求助]
如何制備厚度大均勻性好的光刻膠膠厚 已有1人參與
|
||||
|
想獲得80μm以上的光刻膠厚度，需要注意哪些問(wèn)題，目前做的總是出現(xiàn)掉膠，顯影不凈等問(wèn)題 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
XPS/?λXPS
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
河北大學(xué)-26年秋季入學(xué)化學(xué)博士招生
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
無(wú)機(jī)化學(xué)論文潤(rùn)色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有247人回復(fù)
-
招收2026年入學(xué)博士研究生
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
0856材料306分調(diào)劑
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
北京航空航天大學(xué)26級(jí)博士招生-生物醫(yī)學(xué)工程-合成生物學(xué)
已經(jīng)有13人回復(fù)
當(dāng)你當(dāng)年
新蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 116.4
- 散金: 326
- 紅花: 5
- 沙發(fā): 6
- 帖子: 735
- 在線(xiàn): 304.3小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 6077911
- 注冊(cè): 2017-03-21
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 光學(xué)和光電子材料
2樓2020-09-23 19:28:36
3樓2020-09-23 20:05:34
babyoflion
金蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 183 (高中生)
- 金幣: 4771.5
- 散金: 301
- 紅花: 30
- 帖子: 2506
- 在線(xiàn): 671.9小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 2297725
- 注冊(cè): 2013-02-25
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 光學(xué)
4樓2020-09-23 22:06:50
5樓2020-09-23 23:22:01
6樓2020-09-23 23:53:15
yswyx 
專(zhuān)家顧問(wèn) (著名寫(xiě)手)
-
專(zhuān)家經(jīng)驗(yàn): +651 - MN-EPI: 8
- 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.1
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線(xiàn): 577.8小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 446878
- 注冊(cè): 2007-10-30
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
【答案】應(yīng)助回帖
|
估計(jì)你用的是SU8。如果是SU8的話(huà)，首先膠的選擇很重要。建議使用研材微納的683，其它的SU8，包括進(jìn)口microchem的，各個(gè)系列都有一些限制。 首先你這種接近10:1高寬比的，microchem的2000系列，但是它的粘附性很差。3000系列又最大只能做到5:1。 還有很多其它的工藝細(xì)節(jié)，比如，光源必須是單色的，顯影要用特殊的工具，襯底要做如何的特殊處理等等等等，才又可能做到10:1的高寬比。 建議直接發(fā)信給研材微納的技術(shù)郵箱或者銷(xiāo)售郵箱進(jìn)行咨詢(xún)，或者直接參加他們的SU8光刻培訓(xùn)。 |
7樓2020-09-30 16:34:12
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 su1227 的主題更新
| 7 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 080500材料科學(xué)與工程 +11 | 202114020319 2026-03-03 | 11/550 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 306求調(diào)劑 +3 | Bahati 2026-03-05 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 332材料求調(diào)劑 +4 | zjy101327 2026-03-05 | 5/250 |
|
|
|
[考研] A區(qū)一本交叉課題組，低分調(diào)劑，招收機(jī)械電子信息通信等交叉方向 +12 | lisimayy 2026-03-04 | 20/1000 |
|
|
|
[考研] 274環(huán)境工程求調(diào)劑 +6 | 扶柳盈江 2026-03-05 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 復(fù)試調(diào)劑 +3 | 呼呼？~+123456 2026-03-05 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 070300調(diào)劑一志愿南京大學(xué)化學(xué)專(zhuān)業(yè)，初試273分，有論文有專(zhuān)利有競(jìng)賽，求調(diào)劑B區(qū)211 +3 | 82206202 2026-02-28 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +7 | 博斯特525 2026-03-04 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 085601 材料工程 320 +6 | 和樂(lè)瑤 2026-03-03 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 一志愿314求調(diào)劑 +7 | 202111120625 2026-03-03 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)調(diào)劑 +4 | G212 2026-03-03 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿西工大材料學(xué)，英一數(shù)二總分321分，求調(diào)劑。 +3 | zz05zz 2026-03-02 | 5/250 |
|
|
|
[論文投稿]
EST拒稿重投
 5+3
|
15102603076 2026-03-02 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 化工專(zhuān)碩調(diào)劑 +4 | 利好利好. 2026-03-03 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 化工335求調(diào)劑 +5 | 摸摸貓貓頭 2026-03-02 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 1 +7 | 黑！在干嘛 2026-02-28 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 一志愿中石油（華東）本科齊魯工業(yè)大學(xué) +3 | 石能偉 2026-03-02 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 281求調(diào)劑 +5 | 2026計(jì)算機(jī)_誠(chéng)心 2026-03-01 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 272求調(diào)劑 +6 | 田智友 2026-02-28 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 化工299分求調(diào)劑 一志愿985落榜 +5 | 嘻嘻(*^ω^*) 2026-03-01 | 5/250 |
|