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huihuihuang新蟲 (正式寫手)
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[求助]
關(guān)于利用橢偏儀測試雙層薄膜的光學(xué)常數(shù)問題 已有1人參與
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請教一個問題： A：N型硅片上沉積有富硼層，B：N型硅片上沉積有富硼層和硼硅酸玻璃層（硼硅酸玻璃層在上） (a)采用橢偏分析儀測試樣品A，得到樣品A的Ψ (A) -λ曲線、采用橢偏分析儀測試樣品B，得到樣品B的Ψ (B) -λ曲線； (b)基于第一性原理密度泛函方法，求解得到樣品A富硼層的厚度、折射率和消光系數(shù)； (c)將樣品A富硼層的厚度、折射率和消光系數(shù)帶入樣品B的Ψ (B) -λ曲線，通過擬合分析得到樣品B硼硅玻璃層的厚度、折射率和消光系數(shù)。 請問從步驟(C)中得到B中硼硅酸玻璃層的光學(xué)常數(shù)的原理是什么？是很常規(guī)的利用橢偏儀測試薄膜厚度與光學(xué)常數(shù)的方法嗎？ |
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huihuihuang
新蟲 (正式寫手)
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5樓2020-05-18 17:49:03
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【答案】應(yīng)助回帖
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你確定第二步（b）是基于第一性原理密度泛函方法么？ 求解樣品A富硼層的厚度、折射率和消光系數(shù)，是 光束在 Air-富硼層-N型硅基片 三層結(jié)構(gòu)中的反射，tanψ與s、p偏振光振幅的變化有關(guān)。 樣品B：N型硅片上沉積有富硼層和硼硅酸玻璃層（硼硅酸玻璃層在上） 按光束在 Air-硼硅酸玻璃層-富硼層-N型硅基片 四層結(jié)構(gòu)中的反射處理。 （c）這一步成立的前提是：樣品A和樣品B具有相同的富硼層厚度，否則擬合沒什么意義。 |
2樓2020-05-18 08:35:55
huihuihuang
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3樓2020-05-18 09:12:25
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4樓2020-05-18 09:32:30
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