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huihuihuang新蟲 (正式寫手)
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[求助]
關(guān)于利用橢偏儀測試雙層薄膜的光學(xué)常數(shù)問題 已有1人參與
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請教一個問題: A:N型硅片上沉積有富硼層,B:N型硅片上沉積有富硼層和硼硅酸玻璃層(硼硅酸玻璃層在上) (a)采用橢偏分析儀測試樣品A,得到樣品A的Ψ (A) -λ曲線、采用橢偏分析儀測試樣品B,得到樣品B的Ψ (B) -λ曲線; (b)基于第一性原理密度泛函方法,求解得到樣品A富硼層的厚度、折射率和消光系數(shù); (c)將樣品A富硼層的厚度、折射率和消光系數(shù)帶入樣品B的Ψ (B) -λ曲線,通過擬合分析得到樣品B硼硅玻璃層的厚度、折射率和消光系數(shù)。 請問從步驟(C)中得到B中硼硅酸玻璃層的光學(xué)常數(shù)的原理是什么?是很常規(guī)的利用橢偏儀測試薄膜厚度與光學(xué)常數(shù)的方法嗎? |

至尊木蟲 (文壇精英)
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你確定第二步(b)是基于第一性原理密度泛函方法么? 求解樣品A富硼層的厚度、折射率和消光系數(shù),是 光束在 Air-富硼層-N型硅基片 三層結(jié)構(gòu)中的反射,tanψ與s、p偏振光振幅的變化有關(guān)。 樣品B:N型硅片上沉積有富硼層和硼硅酸玻璃層(硼硅酸玻璃層在上) 按光束在 Air-硼硅酸玻璃層-富硼層-N型硅基片 四層結(jié)構(gòu)中的反射處理。 (c)這一步成立的前提是:樣品A和樣品B具有相同的富硼層厚度,否則擬合沒什么意義。 |

新蟲 (正式寫手)

至尊木蟲 (文壇精英)

新蟲 (正式寫手)

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