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lxq_529新蟲 (小有名氣)
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[求助]
等離子濺射和離子束濺射的區(qū)別 已有1人參與
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| 等離子濺射和離子束濺射有什么區(qū)別？除了磁控濺射、離子束濺射等物理氣相沉積還包括哪些？ |
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L小懶蟲
木蟲 (著名寫手)
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- 專業(yè): 金屬材料的微觀結(jié)構(gòu)
3樓2020-07-06 07:05:10
NGJ889KWWC;
金蟲 (著名寫手)
石油化工，天然氣工程師
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- 性別: GG
- 專業(yè): 能源化工
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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等離子濺射物質(zhì)除固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)之外，還有第四態(tài)，即等離子態(tài)。在外界高能作用下，分子或原子被離解成陽(yáng)離子及同等數(shù)量的陰離子或電子，這一總體稱為等離子體。利用等離子體進(jìn)行濺射的工藝稱為等離子濺射。 等離子濺射也稱為四極濺射，它是在陰極濺射的基礎(chǔ)上增加一個(gè)熱燈絲陰極和一個(gè)輔助陰極來進(jìn)行濺射的。 離子束濺射出來的顆粒比較粗大，顆粒走向有一定取向性，就好像一塊塊“泥巴”被甩到基底上，最終連成膜；熱蒸發(fā)的顆粒小，蒸鍍的時(shí)候爐子里彌漫著靶材分子，因此顆粒取向性不大，最終膜比較平坦。 |
2樓2020-05-06 14:59:28
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