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lxq_529新蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
等離子濺射和離子束濺射的區(qū)別 已有1人參與
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| 等離子濺射和離子束濺射有什么區(qū)別？除了磁控濺射、離子束濺射等物理氣相沉積還包括哪些？ |
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NGJ889KWWC;
金蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
石油化工，天然氣工程師
- CE-EPI: 12
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- 專(zhuān)業(yè): 能源化工
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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等離子濺射物質(zhì)除固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)之外，還有第四態(tài)，即等離子態(tài)。在外界高能作用下，分子或原子被離解成陽(yáng)離子及同等數(shù)量的陰離子或電子，這一總體稱為等離子體。利用等離子體進(jìn)行濺射的工藝稱為等離子濺射。 等離子濺射也稱為四極濺射，它是在陰極濺射的基礎(chǔ)上增加一個(gè)熱燈絲陰極和一個(gè)輔助陰極來(lái)進(jìn)行濺射的。 離子束濺射出來(lái)的顆粒比較粗大，顆粒走向有一定取向性，就好像一塊塊“泥巴”被甩到基底上，最終連成膜；熱蒸發(fā)的顆粒小，蒸鍍的時(shí)候爐子里彌漫著靶材分子，因此顆粒取向性不大，最終膜比較平坦。 |
2樓2020-05-06 14:59:28
L小懶蟲(chóng)
木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 6 (幼兒園)
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- 蟲(chóng)號(hào): 7733703
- 注冊(cè): 2018-01-06
- 專(zhuān)業(yè): 金屬材料的微觀結(jié)構(gòu)
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簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)就是離化和濺射方式不一樣，PVD有很多類(lèi)型，您所說(shuō)的磁控是一大類(lèi)。此外，離子束“靶向”不一樣，做出來(lái)的薄膜性能有差別。 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
3樓2020-07-06 07:05:10
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