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愛(ài)惜花草木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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[求助]
藍(lán)寶石襯底上物理沉積一層Al2O3，可以被酸/堿腐蝕嗎？ 已有1人參與
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藍(lán)寶石主要成分為alpha-Al2O3，結(jié)構(gòu)極穩(wěn)定，既不溶于酸，又不溶于堿。 如果利用PVD比如濺射在藍(lán)寶石襯底上繼續(xù)沉積一層Al2O3，這層Al2O3應(yīng)該可以被酸/堿腐蝕完全吧，會(huì)不會(huì)在界面有殘留？ |
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zuopeng142
鐵蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 2 (幼兒園)
- 金幣: 909.8
- 紅花: 1
- 帖子: 210
- 在線: 19.4小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1173829
- 注冊(cè): 2010-12-20
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
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和濺射條件關(guān)系很大，質(zhì)量差的HCl都能腐蝕得動(dòng);藍(lán)寶石襯底一般濃硫酸比濃磷酸3：1左右，一百五十度以上溫度腐蝕還比較快，搜下濕法腐蝕藍(lán)寶石圖形襯底，有文獻(xiàn) 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
4樓2020-03-21 23:01:13
yswyx 
專家顧問(wèn) (著名寫(xiě)手)
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專家經(jīng)驗(yàn): +651 - 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.1
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 446878
- 注冊(cè): 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
2樓2020-03-13 14:27:49
egg430
新蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 29
- 帖子: 147
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- 注冊(cè): 2011-09-08
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
3樓2020-03-14 09:45:37
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