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愛惜花草木蟲 (著名寫手)
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[求助]
藍(lán)寶石襯底上物理沉積一層Al2O3，可以被酸/堿腐蝕嗎？ 已有1人參與
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藍(lán)寶石主要成分為alpha-Al2O3，結(jié)構(gòu)極穩(wěn)定，既不溶于酸，又不溶于堿。 如果利用PVD比如濺射在藍(lán)寶石襯底上繼續(xù)沉積一層Al2O3，這層Al2O3應(yīng)該可以被酸/堿腐蝕完全吧，會不會在界面有殘留？ |
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2樓2020-03-13 14:27:49
egg430
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3樓2020-03-14 09:45:37
zuopeng142
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
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和濺射條件關(guān)系很大，質(zhì)量差的HCl都能腐蝕得動;藍(lán)寶石襯底一般濃硫酸比濃磷酸3：1左右，一百五十度以上溫度腐蝕還比較快，搜下濕法腐蝕藍(lán)寶石圖形襯底，有文獻(xiàn) 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
4樓2020-03-21 23:01:13
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