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xiangxintian木蟲 (正式寫手)
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液相外延、氣相外延與常說的物理氣相沉積PVD和化學(xué)氣相沉積CVD有什么本質(zhì)上的區(qū)別嗎? 已有1人參與
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| 如題。液相外延、氣相外延與常說的物理氣相沉積PVD和化學(xué)氣相沉積CVD有什么本質(zhì)上的區(qū)別嗎?如果有的話區(qū)別在什么地方?如果沒有本質(zhì)區(qū)別,那么什么時候該說沉積,什么時候該說外延呢? |
木蟲之王 (文壇精英)
上善若水,利萬物而不爭
木蟲之王 (文壇精英)
上善若水,利萬物而不爭
| 外延是一個以襯底晶片作籽晶并依襯晶體結(jié)構(gòu)向外延伸為特征的薄膜生長工藝,它可以在氣相中進(jìn)行,也可在液相中進(jìn)行,前者稱為氣相外延(VPE),后者稱為液相外延(LPE)。氣相外延是一種化學(xué)氣相沉積(CVD)過程與表面成核過程相結(jié)合的工藝。 |
木蟲 (正式寫手)
銅蟲 (正式寫手)
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